Ir-Rh thin films as high-temperature electrodes for surface acoustic wave sensor applications

Amine Taguett (1) , Thierry Aubert (2, 1) , Marc Lomello (1) , Ouarda Legrani (2) , Omar Elmazria (3) , Jaafar Ghanbaja (3) , Abdelkrim Talbi (4)

1 SYMME - Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique
2 LMOPS - Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes
3 IJL - Institut Jean Lamour
4 LIA LICS/LEMAC - Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique

Mots clés: Ir-Rh electrodes; multilayers film; SAW; high-temperature

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Amine Taguett, Thierry Aubert, Marc Lomello, Ouarda Legrani, Omar Elmazria, et al.. Ir-Rh thin films as high-temperature electrodes for surface acoustic wave sensor applications. Sensors and Actuators A: Physical , 2016, 243, pp.35-42. ⟨10.1016/j.sna.2016.03.008⟩. ⟨hal-01288956⟩